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[資料] 掃描電鏡分辨率檢測驗收
通常掃描電鏡廠家提供空白測試報告,明確規(guī)定了檢測項目、指標(biāo)和檢測方法,可以從易到難逐項檢測。有的廠方還提供儀器出廠檢測報告作為參考。用戶把實測結(jié)果與技術(shù)指標(biāo)相對照,如果合格就在對應(yīng)項目欄標(biāo)“OK”。逐項實測核對完成后,如果用戶沒有疑義,雙方在檢測報告上簽字。電鏡調(diào)試和測試的周期長短取決于電鏡本身的質(zhì)量和廠方工程師的技術(shù)水平。另外,場發(fā)射要比常規(guī)電鏡調(diào)試驗收復(fù)雜得多,其中電子槍烘烤至少需用2~3天時
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